《MEMS加速度傳感器測試方法》（SJ21264-2018）【全文附高清PDF+Word版下載】

《MEMS加速度傳感器測試方法》（SJ21264-2018）【全文附高清PDF+DOC/Word版下載】

標準號：SJ21264-2018

標準名稱：MEMS加速度傳感器測試方法

英文名稱：Test methods for MEMS acceleration transducer

發(fā)布日期：2018-01-18

實施日期：2018-05-01

發(fā)布單位：國家國防科技工業(yè)局

中國標準分類:L55(微電路綜合)

國際標準分類:31.200(集成電路、微電子學)

簡介：本標準規(guī)定了MEMS加速度傳感器電參數(shù)的測試環(huán)境、測試設(shè)備和儀器的一般要求，以及參數(shù)測試目的、測試框圖、測試原理、規(guī)定條件、測試步驟和計算方法。 本標準適用于MEMS加速度傳感器的偏值、標度因數(shù)、閾值、分辨率、偏值短期穩(wěn)定性、標度因數(shù)短期穩(wěn)定性和偏值短期重復性等參數(shù)測試。









 

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