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《電子工業(yè)用四氯化硅》（GB/T38867-2020）【全文附PDF版下載】
標(biāo)準(zhǔn)號：GB/T38867-2020
中文標(biāo)準(zhǔn)名稱：電子工業(yè)用四氯化硅
英文標(biāo)準(zhǔn)名稱：Silicon tetrachloride for electronic industry
中國標(biāo)準(zhǔn)分類號（CCS） G86 國際標(biāo)準(zhǔn)分類號（ICS） 71.100.20
發(fā)布日期 2020-07-21 實(shí)施日期 2021-02-01
主管部門 國家標(biāo)準(zhǔn)化管理委員會 歸口單位 全國半導(dǎo)體設(shè)備和材料標(biāo)準(zhǔn)化技術(shù)委員會
發(fā)布單位 國家市場監(jiān)督管理總局、中國國家標(biāo)準(zhǔn)化管理委員會
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